在電子、電鍍行業生產過程中,每個工段生產流程的差異,對純水的品質要求也不同,選擇的純化水設備也不相同。純水分級中最關鍵的指標是電導率(電阻率);根據電阻率的不同,可分為去離子水、蒸餾水、純水、超純水、電子級超純水。
電子級超純水設備,不僅需要將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的。根據超純水中電阻率、硅、細菌數、顆粒度等指標情況,將超純水分為以下幾個級別:
中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準(超鏈接)
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EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
電阻率 MΩ﹒cm(25℃) |
18以上 (95N時間) 不低于17 |
15 (95N時間) 不低于13 |
12.0
|
0.5
|
全硅,最大值,µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
>1µm微粒數,最大值,個/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
細菌個數,最大值,個/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
銅,最大值,µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
鋅,最大值,ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
鎳,最大值.µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
鈉.最大值,µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
鉀,最大值.ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯,最大值.ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
硝酸根,最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根,最大值.ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根,最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
總有機碳,最大值,ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
為了實現廢水的零排放,需要將生產中的廢水重新變成可以用于車間生產的超純水。由于不同生產企業,生產工段對用水水質的要求不同,需要深入了解生產工藝,才能制定更合理的零排放處理工藝。
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