本項目是某新材料企業生產用水經處理后需要達到超純水水質要求回用生產線。純水指的是不含雜質的H2O。主要在生物、化學化工、冶金、宇航、電力、電子工業等領域使用，其對水質純度的要求相當高。而且由于各行業生產的標準不一樣，對水質的要求標準也不同，本項目業主要求是要求電阻率達到16Ω。
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指標
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單位
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標準
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PH
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6-9
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CODcr
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mg/L
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≤100
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總銅
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mg/L
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≤0.5
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總鎳
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mg/L
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≤1.0
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懸浮物
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mg/L
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≤70
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氨氮
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mg/L
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≤15
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硫化物
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mg/L
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≤0.5
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磷酸鹽
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mg/L
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≤0.5
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總氰化物
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mg/L
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≤0.3
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石油類
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mg/L
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≤5.0
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色度
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≤50
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本項目在原有廢水處理終端采用軟化+兩級反滲透純水設備+EDI工藝，以及兩級反滲透純水設備+DI工藝，實現廢水與自來雙水源情況下，達到超純水要求，實現車間廢水零排放和自動補給。
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
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級別 指標 |
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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電阻率
MΩ﹒cm(25℃)
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18以上
(95N時間)
不低于17
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15
(95N時間)
不低于13
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12.0
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0.5
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全硅，最大值，µg/L
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2 |
10
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50
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1000
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>1µm微粒數，最大值，個/mL
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0.01
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5 |
10
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500
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細菌個數，最大值，個/mL
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0.01
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0.1
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10
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100
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銅,最大值，µg/L
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0.2
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1 |
2 |
500
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鋅，最大值，ug/L
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0.2
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1 |
5 |
500
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鎳，最大值．µg/L
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0.1
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1 |
2 |
500
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鈉．最大值，µg/L
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0.5
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2 |
5 |
1000
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鉀，最大值．ug/L
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0.5
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2 |
5 |
500
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氯，最大值．ug/L
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l |
l |
10
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1000
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硝酸根，最大值，ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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磷酸根，最大值．ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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硫酸根，最大值,ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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總有機碳，最大值，ug/L
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20
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100
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200
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1000
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